স্মার্ট ভর প্রবাহ মিটার ছোট ভলিউম প্রবাহ নিয়ন্ত্রক গরম গ্যাস ভর প্রবাহ মিটার
ব্যবহার এবং বৈশিষ্ট্য
মাস ফ্লো কন্ট্রোলার (MFC) গ্যাসের ভর প্রবাহের সঠিক পরিমাপ এবং নিয়ন্ত্রণের জন্য ব্যবহৃত হয়। তারা সেমিকন্ডাক্টর এবং ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট শিল্প, বিশেষ উপাদান শিস্তি, রাসায়নিক শিল্প, শিল্প, ফার্মাসিউটিক্যাল, *** এবং ভ্যাকুয়াম ল এর সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন অন্তর্ভুক্তঃ ইলেক্ট্রনিক্স প্রক্রিয়া যন্ত্রপাতি, যেমন বিস্তার, সম্প্রসারণ, CVD、 অক্সিডেশন, প্লাজমা ক্ষয়, sputtering, আয়ন ইনজেকশন; এবং আবরণ সরঞ্জাম, ফাইবার গলিত, মাইক্রো রিয়েকশন ডিভাইস, মিশ্র গ্যাস বিতরণ সিস্টেম, ক্যাপিলার পরিমাপ, গ্যাস ক্রোমাটোমিট
প্রধান প্রযুক্তিগত সূচক
পরিমাপ পরিসীমা (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
সঠিকতা + 1.5% F.S
রৈখিক + 0.5 ~ 1.5% FS
পুনরাবৃত্তি নির্ভুলতা + 0.2% FS
প্রতিক্রিয়া সময় 10sec গ্যাস বৈশিষ্ট্য: (1 ~ 4) sec
ওয়ার্কিং চাপ পার্থক্য 0.1 ~ 0.5MPa
চাপ প্রতিরোধ 3Mpa 6Mpa 10Mpa
কাজের পরিবেশ তাপমাত্রা 0 ~ 70 ℃
ডিজিটাল পরিমাণ RS485 MODBUS প্রোটোকল
অ্যানালগ পরিমাণ DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA ঐচ্ছিক
বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্য: SLM
বিদ্যুৎ সরবরাহ ডিসি + 15V / 24V ঐচ্ছিক, প্রবাহ মিটার <50mA, কন্ট্রোলার <200mA
বৈদ্যুতিক সংযোগ DB15
লিকেশন 1 × 10 SCCSHe
বেস উপাদান 316L স্টেইনলেস স্টীল
সিল উপাদান ফ্লুরো রাবার, ডিপ্রিন, নিওপ্রিন
গ্যাস পথ সংযোগ Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
দ্রষ্টব্যঃ ভর প্রবাহ মিটার এবং ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক কারখানায় সাধারণত নাইট্রোজেন (N₂) দিয়ে স্ক্যাল
ভর প্রবাহের ইউনিট নির্ধারিত হয়েছেঃ এসসিসিএম (স্ট্যান্ডার্ড মিলি / মিনিট); SLM (স্ট্যান্ডার্ড লিটার/মিনিট)
স্মার্ট ভর প্রবাহ মিটার ছোট ভলিউম প্রবাহ নিয়ন্ত্রক গরম গ্যাস ভর প্রবাহ মিটার